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第八十九章:范学东
 长胜工,‮导领‬这次研发的是郭东,他等老板和吴总走后,就继续主持会议。

 他是具体执行人,当然要将事情安排得更细了。

 “咚咚”他也学着老板的样子,敲了敲话筒。看到同事们停止了说话,将注意力放到自已身上后,就开始说:“这次研发的设备很复杂,不是老板说得那么简单。我刚才仔细思考了一下,决定做出以下安排。首先,”说到这里,他指着前排的一个大概25、6岁的年轻人说:“赵东海,你带两个人去非全属研究所拿几单晶硅回来,还要请最少一位研究员过来,他们是这方面的行家,我们还有许多问题要请教他们。”

 紧接着他又点了两位年轻人说“王青松和张小璐,你们俩人分别去电子研究所和总部的软讯公司请他们派人来。他们也是这次研发的主力军。”

 说完这些话,他就站起来说:“现在就散会吧!不过大家要注意,下午还要开会。”“散会”他又学着老板的样子,边说就边往会场外走了。

 郭东回到办公室后,只等了二个多小时,邀请的其它研究所和软讯公司的人就来了。

 大家都知道老板很重视,软讯公司是卢汝成亲自带着全部人马来了。电子研究所也是张东方和吴満第二人亲自带了几个人来了,非金属研究所只来了一个人,这些设备与他们的关系不大,能派一个人来,已是不易。

 非金属研究所的来人叫范学东,因为他是客人,郭东先与他握手,嘴里说着客气话:“!”

 然后他又对其它人说:“你们都是人,我就不一一握手了,我们抓紧时间要紧。现在有范先生在这里,我们先拆开一条单晶硅瞧瞧,我们有什么不懂的地方好当面请教。”

 “对对对,郭部长说得对,我们抓紧时间开始吧!浪费时间是可聇的。”卢汝成跟他开了个玩笑。他装着滑稽的表情说。

 “哈哈哈哈!”办公室里其它的人都哄堂大笑起来。这次来的人除了范学东其他人都是人,以前都是郭东的手下,不过现在已经不归他管了,因此难得的放肆了一回。

 但是长胜工的技术员,却不敢笑,想笑也只能用力憋着。他们依照郭东的命令,手忙脚地拆开了单晶硅的外薄膜包装。

 大家都蹲下来看,发现整大小不一,有提拉部,颈部、生长部、尾部等。外型也不圆,外表还涂了一层可能是防氧化的油。

 “看样子,只有中间这一段有用啊!”郭东指着中间那段大约20英寸直径的生长部问范学东。

 “是的,就是中间这一段,也有些不合格的,不过可以作为底片。每一加工成型的材都需要通过人工检测,合格的作为基片,不合格的作为底片。具体的方法就是通过高倍显微镜观测,只有晶相一致的才能作为基片。”

 范学东毕竟是专业人士,他比沈丹青介绍得祥细多了,也专业得多。这全都归功于新成立的技术信息部的功劳,他们从国外搜罗了大量的科学文献和技术资料,因此各研究所的技术员,他们的理论知识是突飞猛进。仅从理论上讲,他们已经不弱于国內各大研究所的科学家,在某些方面甚至超过他们。谁让沈丹青成立了技术信息部这么一个专业的间谍组织呢!所以说一家企业有钱还是有点用的。

 “这得多浪费啊!,可能只一半有用吧!”郭东发出了感慨。其它人也都点头,认同他的观点。

 “这已经算好的啦!国外还不如我们呢!这还得归功于你们制造的单晶硅生长炉非常密。不过你们也不要担心,剩下的我们还可以回收。不会太浪费的。”范学东一副少见多怪的神态向他们解释道。

 “那这些油呢?有什么清洗吗?”郭东又指着外层的油问他。

 “当然有,并且还需要清洗两次,最后一次还需要用无氧超纯水冲洗。冲洗干净后,还要烘干。”范学东又向他们科普了一番。

 “啪啪啪!”郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌说:“好啦!大家也了解的差不多了,我刚才仔细地思考了一下,发现问题还很复杂,远远不是老板所说的几台机器那么简单。”

 说完,他就走到一张画图的办公桌边,拿了一张绘图纸和一支笔,先勾画了一个菗象的草图。他指着图上的两个图案说:“我把整套设备规划成两部分,一部分是不需要的氩气环境下工作的,另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。”

 说完他就又拿笔在纸上画了几个示意草图,他拿笔指着其中一个说:“我们首先要切断,因为是大物体切断所以不需要太密,我设想就是一台机就可以了,反正后续还有许多加工处理步骤。不过要注意,在切断的时候要加防氧化油,把材的两个横载面涂抹油,目的是防止氧化。”

 说完这些他就又用笔指着另外一个图案说:“切断之后就要把硅滚圆,使它符合硅晶圆基片的大小要求,并且保持整材圆整度的一致,在这个加工步骤中,也要加防氧化油,使整材外表有油保护,防止氧化。”

 说到这里,他又用笔指着另一个图标说道:“到了这一步,就必须在氩气环境內进行下一步了,因此,我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶在空气中而被氧化。”

 “等等,郭部长,清洗和烘干这两个步骤,光刻机、离子注入机和cvd机都要用到,而且你还忘了,回火这个步骤,单硅晶在切薄片的时候,因温度过高的原因会变形,因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士,比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。

 “谢谢你的提醒!范先生。”郭东不知如何称呼他的职务,只好叫他先生了。

 “没什么,我们不是一起解决问题嘛!”

 范学东摇着手,客气道。

 “好!既然是这样,那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体,只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。

 说完他又皱起了眉头,然后像自言自语地说道:“不过这样一来,老板说的一条轨道远远不够,长长短短可能要十多条,像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”

 “我想的也差不多,整套系统绝不简单,我们要把里里外外都考虑清楚了,再开始设计,尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的,还超过了他以前的顶头上司郭东,因此他没有顾虑的发表了自已的意见。

 “嗯!卢总说得不错,那我们休会一个小时,大家都思考思考。”郭东作为主人,作了决定。

 郭东说完,大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考,在心里描绘出整个系统的雏形,设想怎样才更合理。

 “咚咚”过了一个小时,郭东准时敲响了桌子,将大家从思考中惊醒过来。

 他见大家都注意到了自已就开始说道:“由于人数较多,就不一个个发言了,时间不允许。我说出我的想法,有什么不对的大家补充。”

 他没等大家回答,组织了思路就开始说了:“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上,具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火,然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空昅盘,因为硅片很薄,不能用机械的方式传输,否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空昅盘式,肯定不能用卡钳的方式,否则损伤更大。上胶机必须设计两部,两种不同的胶不能混和在一起,否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤,这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大,可以布置得很紧凑。

 又因为各个步骤都要检测,因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭,方便使用电子显微镜检测。

 我设想的大体系统架构就是这样,具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就说一下。”

 说完他就坐到。,将位置让了出来。

 “咳咳”卢汝成见其它人都不说,就咳嗽两声,开始发言:“我认为郭部长的设想已经非常完善了,我只补充一条,还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。因为光刻机会进行多次光刻,那么就要进行多次的上胶去胶,因此,有必要设计一个单独的去胶室。”

 说完这些他就不再说了,把时间让给别人了。其实到了这一步已经非常完善了,大家没什么好补充的了。因此一下子冷场了。

 郭东见大家不再发言,就又站起来说:“既然大家不再补充啦!那我们就散会吧!吃饭时间到了,我们公司食堂的饭菜很好的,大家都知道的。哦!瞧我,范先生是客人不知道。罪过罪过!”

 说完他调皮的对范学东双手作揖。

 “哈哈哈哈!”大家又开心的大笑起来。

 一个有能力的人,总是会想办法调节气氛。而郭东就是这样的人。

 未完待续…  M.UjIxs.Com
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